Popis vybavení:
· Představení vybavení:
express Molekuly procesního plynu procházející leptací komorou se rozkládají a ionizují za vzniku plazmy.
vyjádřit Některé aktivní skupiny v plazmatu chemicky reagují s povrchem leptaného materiálu;
express Tenkovrstvé leptací zařízení prostřednictvím pulzního/radiofrekvenčního napájení jsou kladné ionty v plazmatu fyzicky bombardovány na povrch leptaného materiálu, aby se povrch materiálu vyčistil, upravil a naleptal kombinací fyziky a chemie.
· Výhody vybavení:
expresně ultra-nízká leptací teplota, aby vyhovovala teplotním požadavkům při různých příležitostech, může zabránit tepelnému namáhání a deformaci substrátu;
express Duální iontový zdroj lze zvednout za obě strany válce, snadná údržba;
expresní zařízení pro leptání tenkých vrstev využívá zdroj čištění iontovým paprskem a jedinečnou technologii výboje, vysokou hustotu plazmy, leptací čisticí účinek je dobrý, s dobrou rovnoměrností;
express Alarm a ochrana: Komplexní bezpečnostní ochrana zahrnuje: teplotní bezpečnostní ochranu, funkci ochrany proti přetížení, funkci ochrany proti zkratu, různé ochranné funkce proti nesprávné činnosti.
Oblast použití:
express Leptatelné materiály: kovy, ne{0}}kovy, slitiny, elektronické součástky (monokrystalický křemík, amorfní křemík, polysilikon, SOI), oxidy kovů, nitridy, karbidy, keramika, polymery, supravodivé materiály atd.
express Lze jej použít jako stroj na blednutí filmů pro DLC/ta-C filmy.
express Lze použít v: 3C spotřební elektronice, elektronických součástkách, optice, dopravě, nástrojových formách, domácích spotřebičích, nové energetice, lékařství, výzkumných ústavech a dalších průmyslových odvětvích.
Před iontovým leptáním Po iontovém leptání
Populární Tagy: zařízení na leptání tenkých vrstev, Čína výrobci zařízení na leptání tenkých vrstev, dodavatelé, továrna
