Popis vybavení:
· Úvod zařízení:
exprimují procesní plynné molekuly procházející lepknou komorou rozkládají se a ionizují za vzniku plazmy.
exprimují některé z aktivních skupin v plazmě chemicky chemicky s povrchem leptaného materiálu;
Exprimují leptací zařízení tenkého filmu prostřednictvím zdroje energie pulsu/rádiového frekvence, pozitivní ionty v plazmě jsou fyzicky bombardovány na povrchu leptaného materiálu, aby se čistily, modifikovaly a leptaly povrch materiálu kombinací fyziky a chemie.
· Výhody vybavení:
exprimujte ultra nízkou teplotu leptání, aby se splňovaly teplotní požadavky různých příležitostí, může se vyhnout tepelnému napětí a deformaci substrátu;
Expresní zdroj duálního iontu může být zvednut oběma stranami válce, snadnou údržbou;
Expresní zařízení pro vylepšení tenkého filmu přijímá zdroj čištění iontového paprsku a jedinečnou technologii vypouštění, vysokou hustotu plazmy, účinek čištění leptání je dobrý, s dobrou uniformitou;
Expresní alarm a ochrana: Komplexní ochrana bezpečnosti zahrnuje: Funkce ochrany bezpečnosti teploty, funkce ochrany přetížení, funkce ochrany alarmu zkratu, různé funkce ochrany proti nesprávnosti.
Pole aplikace:
Expresní vyleptatelné materiály: kov, nekovové, slitiny, elektronické komponenty (monokrystalický křemík, amorfní křemík, polysilikon, soi), oxidy kovů, nitridy, karbidy, keramika, polymery, supravodivé materiály atd. atd. atd.
Express to může být použit jako filmový stroj pro filmy DLC/TA-C.
Express lze použít v: 3C spotřební elektroniku, elektronické komponenty, optiku, přepravu, formy nástrojů, domácí spotřebiče, nová energie, lékařské, výzkumné ústavy a další průmyslová odvětví.
Před leptání iontů po leptání iontů
Populární Tagy: Vytvoření tenkého filmu, výrobci vybavení, dodavatelé, dodavatelé, továrna
