Popis produktů
Přehled schopností procesu
Pvdcvd.com provozuje vyhrazená zařízení pro vakuové nanášení navržená pro vysoce-přesné nanášení tenkých vrstev- a povrchové úpravy. Poskytujeme smluvní lakovací služby pro průmyslové součásti vyžadující odolnost proti opotřebení, nízké tření, ochranu proti korozi nebo specifické elektrické a tepelné vlastnosti. Naše infrastruktura podporuje přechody z počátečního ověřování kuponů na nepřetržitou výrobu.
Materiály substrátu
Aplikujeme PVD a CVD povlaky na širokou škálu strojírenských substrátů. Náš výběr parametrů určuje metalurgie substrátu, odezva před-úpravy a tepelná stabilita.
Nástrojové a zápustkové oceli:
Řada AISI H13, D2, M2, CPM (respektovány prahové hodnoty temperovací teploty).
Karbidy a cermety:
Řezné a tvářecí břitové destičky z karbidu wolframu s kobaltem- (WC-Co).
Žáruvzdorné a reaktivní kovy:
Slitiny titanu (Ti-6Al-4V), Inconel, Monel a nerezové oceli (304, 316, 17-4PH).
Technická keramika a křemen:
Oxid hlinitý, nitrid křemíku a tavený oxid křemičitý pro polovodičové a vysokoteplotní -přístroje.
Příprava povrchu
Přilnavost povlaku závisí na čistotě rozhraní a topografii. Díly procházejí před-protokolem ošetření před vstupem do komory.
Ultrazvukové vodní čištění:
Více{0}}stupňové kaskádové ultrazvukové odmašťování k odstranění zbytkových obráběcích olejů a částic.
Abrazivní tryskání / mikro-tryskání:
Řízené otryskávání (pomocí oxidu hlinitého nebo skleněných kuliček) k úpravě drsnosti povrchu (Ra) a míst mechanického kotvení.
V-komorovém plazmovém leptání:
Ostřelování argonovými ionty se provádí bezprostředně před depozicí, aby se rozprášily nativní oxidy a aktivoval se povrch substrátu na atomární úrovni.
Depoziční procesy
Naše zařízení obsahuje modulární vakuové komory konfigurované pro konkrétní tenké-architektury.
Arc PVD (odpařování katodickým obloukem):
Vysoká míra ionizace poskytuje vynikající přilnavost filmu-k-substrátu pro těžké-řezné nástroje a raznice.
Naprašování (magnetronové naprašování):
Konfigurace stejnosměrného a vysokofrekvenčního magnetronu poskytující hladké,-stejnoměrné povlaky bez kapek pro přesnou optiku a elektroniku.
PECVD (plazmová-vylepšená chemická depozice z plynné fáze):
Nízká{0}}depozice filmů na bázi diamantu-jako uhlíku (DLC) a křemíku-pro tribologické aplikace.
Nanášíme jedno-vrstvy, více{1}}vrstvy, nano{2}}kompozitní a gradientní povlaky přizpůsobené konkrétnímu provoznímu zatížení.
Výkon povlaku
Metriky výkonu jsou ověřovány podle standardizovaných testovacích protokolů, aby odpovídaly požadavkům aplikací.
Tvrdost:
20 až 45 GPa (měřeno pomocí nano{2}}vrubu v závislosti na složení).
Síla přilnavosti:
Hodnocení HF1 až HF2 na vtiskových testech Rockwell C; kritické zatížení (Lc) přesahující 40 N při zkoušce poškrábáním.
Koeficient tření (CoF):
0,05 až 0,15 vůči oceli (suché kluzné podmínky pro DLC systémy).
Teplotní odolnost:
Provozní stabilita až do 700 stupňů v oxidačních atmosférách (pro vysoce-slitiny nitridů).
Řízení procesu
Opakovatelnost vyžaduje monitorování parametrů v uzavřeném cyklu- při každém spuštění.
Úroveň vakua:
Vysoký-základní tlak vakua až na 5 × 10⁻⁴ Pa prostřednictvím turbo-molekulárních a kryogenních čerpacích polí.
Průtok plynu a částečný tlak:
Regulátory hmotnostního průtoku (MFC) regulují vstřikování reaktivního plynu (N₂, Ar, acetylen) v toleranci ±1 %.
Předpětí a proud:
Pulzní zdroje stejnosměrného předpětí řídí bombardování iontovou energií pro regulaci hustoty filmu a zbytkového napětí.
Tepelná regulace:
Termočlánkem-monitorovaný ohřev substrátu a radiační stínění udržují cílové procesní teploty v rozmezí ±5 stupňů .
Kontrola a testování kvality
Vstupní geometrie a vlastnosti výstupní fólie podléhají přísnému ověřování.
Měření tloušťky:
Kalibrovaná kuličková-kráterová metoda (Calo-test) a rentgenová fluorescence (XRF).
Testování přilnavosti:
Rockwell indentační testování adheze (ASTM C1624 / VDI 3198) a automatizované škrábací testery.
Topografie povrchu:
Bez{0}}kontaktní optická profilometrie pro Ra, Rz a mapování hustoty defektů.
Sledovatelnost:
Jednotlivé šarže cestovní dokumentace spojující protokoly chodu pece, receptury plynu a podpisy operátora.
Vzorek povlakování a validace procesu
Nová integrace komponent se řídí strukturovaným inženýrským pracovním postupem.
Část recenze:
Technické posouzení geometrie součásti, požadavky na maskování a toleranční sady.
01
Zkušební nátěr:
Zpracování počátečních kuponů nebo zkušebních dílů-zákazníků podle základních parametrů.
02
Hodnocení:
Testování výkonu-na straně zákazníka (testování na pracovním stole nebo testování v terénu).
03
Uzamčení parametrů:
Dokončení procesního listu (receptu) pro zmrazení proměnných depozice pro budoucí výrobní série.
04
Vývoj vlastních procesů
Standardní katalogové receptury neřeší všechny požadavky aplikace. Náš inženýrský tým spolupracuje se zákaznickými skupinami pro výzkum a vývoj na formulování vlastní architektury povlaků a sad parametrů.
Návrh architektury povlaku:
Vytváření více-vrstvých, gradientních nebo nano{1}}kompozitních tenkých-struktur uzpůsobených pro konkrétní tribologické, tepelné nebo chemické zatížení.
Testování kompatibility substrátu:
Vývoj specializovaných mezivrstev a nízkoteplotních{0}}depozičních cest pro reaktivní nebo teplotně-citlivé slitiny.
Iterace prototypu:
Zkoušky rychlého nanášení na kupony dodané zákazníkem-s následným metalurgickým průřezem{1}}a analýzou adheze.
Měřítko výroby:
Překlad ověřených laboratorních receptur do robustních velkoobjemových{0}}sériových výrobních listů s uzamčenými ovládacími prvky parametrů.
Časté dotazy týkající se schopnosti procesu