Přehled produktu
Industrial Cathodic Arc Evaporation System je produkční -platforma fyzikálního napařování (PVD) navržená pro nanášení tvrdých povlaků odolných proti opotřebení, korozi- a nízkým -třením-. Použitím nízkonapěťových a vysokoproudých elektrických oblouků se pevné katodové terče v místě katody okamžitě vypařují a ionizují a vytvářejí vysoce ionizované kovové plazma.
Tento systém, navržený a vyrobený v souladu s normami řízení kvality ISO 9001 a směrnicemi CE, je nakonfigurován pro vysoce{1}}propustné lakovací operace ve výrobě nástrojů, automobilových součástkách a průmyslovém hardwaru. Standardní konfigurace integrují více-katodové uspořádání s nezávislým řízením magnetického-pole, programovatelné stejnosměrné/pulzní napájecí zdroje a automatizované řízení vakua pro zachování konzistentní stechiometrie filmu a hustých mikrostruktur.
-
![Arc Evaporation Thin Film System]()
Arc Evaporation Thin Film SystemPrůmyslový katodický obloukový odpařovací tenký filmový systém je navržen pro vysokorychlostní nanášení hustých, silně přilnavých kovových, slitinových a keramických směsných povlaků. Systém...Zobrazit více -
![Obloukové odpařování PVD zařízení]()
Obloukové odpařování PVD zařízeníPrůmyslový PVD systém odpařování s katodovým obloukem využívá nízkonapěťové, vysokonapěťové-proudé elektrické oblouky k odpařování pevných katodových terčů ve vakuovém prostředí. Tento mechanismus...Zobrazit více -
![Vacuum Arc Thin Film System]()
Vacuum Arc Thin Film SystemPrůmyslový vakuový obloukový tenký filmový systém využívá katodové obloukové odpařování k nanášení hustých, vysoce přilnavých kovových, slitinových a keramických tenkých filmů. Oblouk s vysokým...Zobrazit více -
![Zařízení pro tenký film s katodickým obloukem]()
Zařízení pro tenký film s katodickým obloukemSystém fyzikálního napařování (PVD) využívající lokalizované nízko{0}}napěťové, vysoko{1}}proudé elektrické oblouky k odpařování pevných katodových cílů na plně ionizované plazma. Vysoká míra...Zobrazit více -
![Zařízení na nanášení obloukovým odpařováním]()
Zařízení na nanášení obloukovým odpařovánímPlatforma průmyslového fyzikálního napařování (PVD) navržená pro-rychlou syntézu hustých, otěruvzdorných-a funkčních tvrdých povlaků. Udržování vysoko-proudého a nízkonapěťového katodového...Zobrazit více
Technické specifikace
|
Parametr |
Rozsah specifikace / Standardní konfigurace |
|
Rozměry komory |
Průměr: 800 mm - 1800 mm (Přizpůsobitelné vertikální/horizontální rozložení) |
|
Materiál komory |
Dvoustěnná -nerezová ocel SUS304 s vnitřními kanály-pro vodní chlazení |
|
Maximální podtlak |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups) |
|
Konfigurace katody |
4 až 12 obdélníkových/kruhových obloukových zdrojů s elektromagnetickým řízením |
|
Napájení oblouku |
300A - 500Nastavitelný konstantní proud, zvlnění<= 2% |
|
Substrate Bias Power |
0 až -1000 V nastavitelná, pulzní zkreslení 10 kHz - 100 kHz |
|
Topný systém |
Pole sálavého ohřívače, maximální rovnoměrnost teploty 600 stupňů +/- 5 stupňů |
|
Rotace obrobku |
Planetární nebo dvouosá rotace{0}} poháněná průchodkou pro magnetickou kapalinu |
|
Řídicí systém |
PLC + průmyslové PC, recept{1}}řízené automatizované sekvenční řízení |
|
Požadavky na utility |
Chladicí voda: 0,25-0,35 MPa, 20-25 stupňů; Napájení: 380V/480V, 3-fázové, 50/60 Hz |
Proces odpařování oblouku
Depoziční cyklus probíhá pod přísnou procedurální kontrolou, aby byla zaručena integrita filmu a přilnavost rozhraní:
Evakuace a odplynění:
Vakuová komora je čerpána až na základní tlak. Substráty jsou zahřívány ve vakuu, aby se odstranily povrchové těkavé látky a zbytková vlhkost.
01
Plazmové leptání (čištění):
Bombardování kovovými ionty (s použitím titanových nebo chromových terčových zdrojů) čistí povrch substrátu na atomární úrovni, odstraňuje přirozené oxidy a aktivuje rozhraní.
02
Reaktivní depozice:
Reaktivní plyny (N2, CH4, O2) jsou vstřikovány do komory prostřednictvím regulátorů hmotnostního toku (MFC), aby reagovaly s tokem kovové plazmy (např. Ti, Cr, AlTi) a vytvořily složené filmy, jako je TiN, TiAlN nebo CrN.
03
Chlazení a větrání:
Chlazení po-depozici probíhá pod ochrannou atmosférou inertního plynu před odvzdušněním komory a vyzvednutím součásti.
04
Podporované katodové cíle
Titan (Ti) a titan hliník (TiAl):Základní materiály pro standardní TiN a povlaky TiAlN s vysokou -oxidací- (odolné oxidaci až do 900 stupňů).
Chrom (Cr):Používá se pro dekorativní povrchové úpravy a korozi{0}}odolné CrN/CrC vrstvy.
Zirkonium (Zr) a titanový křemík (TiSi):Používá se pro specializované dekorativní a nanokompozitní{0}}fólie odolné proti extrémnímu opotřebení.
Kompatibilní materiály substrátu
Vysokorychlostní-ocel (HSS):Spirálové vrtáky, stopkové frézy, odvalovací frézy a protahovače.
Slinuté karbidy (WC-Co):Vyměnitelné břitové destičky, výstružníky a tvářecí nástroje.
Strojírenské oceli a slitiny:Automobilové součásti ventilů, ozubená kola, sanitární zařízení z nerezové oceli a titanové lékařské implantáty.
Aplikace a dopad na výkon
Nástroje pro řezání kovů:
Nanášení povlaků TiAlN a AlCrN na karbidové břitové destičky a stopkové frézy, prodlužuje životnost nástroje o 200 % až 300 % a umožňuje suché vysokorychlostní obrábění.
Formovací a lisovací raznice:
Aplikace hustých povlaků s nízkým{0}}třením ke snížení opotřebení lepidla, zadření a lepení obrobku během hlubokého tažení, čímž se zkrátí prostoje až o 40 %.
Automobilové hnací ústrojí:
Ošetření pístních kroužků, čepů vstřikování paliva a zdvihátek pro minimalizaci koeficientu mezního tření na < 0,15 a zabránění opotřebení oděrem.
Průmyslový hardware a sanitární baterie:
Tvrdé dekorativní PVD vrstvy (TiN zlato, růžové zlato, černé zirkonium) prošly minimálně 500hodinovým testem neutrální solné mlhy (ASTM B117).
Přizpůsobení a konfigurace procesu
Rozvržení zařízení se škáluje podle objemu výroby, geometrie součásti a půdorysu továrny:
Geometrie komory:
Vertikální nosné konstrukce pro těžké nástroje; horizontální dávkové konfigurace pro vysokokapacitní{0}}nakládání příslušenství.
Integrace zdroje:
Hybridní konfigurace kombinující zdroje katodického oblouku s nevyváženými katodami magnetronového naprašování (RMS) pro nanášení hladkých vícevrstvých architektur bez{0}}kapek.
Filtrační systémy:
Volitelné magnetické makročásticové filtry (filtry s řízeným obloukem) nainstalované na katodových kanálech pro eliminaci makro-kapek pro optické nebo ultra{1}}hladké a přesné funkční povlaky.
Rozhraní automatizace:
Integrace-připravena pro robotická nakládací ramena a automatické navádění vozidel (AGV).
Strukturální integrita:Tělesa komor procházejí zkouškou těsnosti hmotnostním spektrometrem s heliem na prahu citlivosti<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.
Elektrická bezpečnost a shoda:Postaveno přesně podle směrnic CE a IEC pro elektrickou bezpečnost, obsahuje úplné testování izolace a nouzové bezpečnostní blokování.
Funkční run-off (FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwell indentation HF1-HF2) jsou před odesláním ověřeny na standardních testovacích kuponech.
Instalace a technická podpora
Balíček pro přípravu webu:
Komplexní výkresy rozvržení inženýrských sítí s podrobnými údaji o průtoku chladicí vody, odsávací ventilaci, nosnosti podlahy a specifikacích elektrických spádů byly poskytnuty 4 týdny po -smlouvě.
Uvedení do provozu na-stránce:
Tovární-certifikovaní procesní inženýři se starají o mechanické vyrovnání, detekci úniku vakua, elektrickou integraci a počáteční nastavení základní receptury v zařízení klienta.
Zpracovat přenos receptury:
Dodávka zahrnuje standardní základní receptury (TiN, TiAlN, CrN) a provozní školení pro interní týmy údržby a inženýrů.
Podpora vzdálené diagnostiky:
Systémy vybavené zabezpečenými branami průmyslových směrovačů pro vzdálené řešení problémů s parametry a diagnostiku logiky PLC.
FAQ
Jsme dobře-známí jako jeden z předních výrobců a dodavatelů zařízení pro obloukové napařování v Číně. Pokud se chystáte koupit přizpůsobené zařízení pro odpařování pomocí oblouku vyrobené v Číně, vítáme vás, abyste získali ceník z naší továrny. Pro cenovou konzultaci nás kontaktujte.
